本报讯（记者 张焱）最近，哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司“双喜”临门——在国际竞争激烈的碳化硅衬底市场杀出一条血路，成功拿下超2亿元人民币的出口欧洲长订单之后，顺利通过国际汽车特别工作组质量管理体系认证，获得进军国内新能源汽车芯片衬底百亿级规模市场“通行证”。
　　满负荷运行 确保如期交付
　　3月14日，记者来到科友半导体晶体生长车间，整层30多台长晶炉一字排开，在自动化程序控制下运行有条不紊。“我们用的是自主研发的电阻式碳化硅长晶炉，该型设备长出的晶体具有应力低、品质高、一致性好的特点。”哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司技术总监张胜涛告诉记者。
　　经过约7到8天时间，碳化硅原料在一人高的大炉子里完成生命“蝶变”，生长成6英寸或8英寸的圆型晶体，经过切割、研磨、抛光、清洗等工序加工成6英寸或8英寸芯片用衬底。
　　前不久，科友半导体与欧洲一家国际知名企业签订长订单，签约额超过2亿元人民币。
　　“我们的产品已经通过了客户的前期验证，正在进行长订单的生产排期，生产线正在满负荷运行，确保今年按照合同如期交付，首批产品预计将于4月份交付。我们生产的8英寸产品良品率更高、综合成本更低，在国际市场具有一定的竞争力。”张胜涛介绍。
　　2023年9月，科友半导体衬底加工生产线建成，10月，首批8英寸碳化硅衬底下线。目前，年产能稳步扩充到数千片。科友半导体开发的8英寸碳化硅材料装备及工艺被中国电子学会组织的专家委员会评为“国内领先、国际先进水平”，是国内首家基于电阻式长晶炉制备获得8英寸碳化硅单晶的企业。张胜涛说，“经过长期实验对比，电阻炉更适合大尺寸晶体生长，其设备稳定性好、炉次重复性高、晶体成品率高、晶体缺陷少。此前，国内碳化硅晶体生长多用感应式长晶炉。”
　　目前，科友半导体碳化硅衬底生产线已投产，其产品主要用于轨道交通、新能源汽车、智能电网、光伏发电领域的功率芯片上。经过加工生产线设备调试，实现6英寸衬底年产能5万片，其市场价格每片在4000元至6000元；8英寸衬底年产能约5000片，市场价格根据等级不同每片价格达到数万元不等。
　　获国际认证 进军新能源汽车市场
　　科友半导体收到的另一个好消息，来自新能源汽车领域。前不久，科友半导体公司通过国际汽车特别工作组质量管理体系认证，这是全球汽车制造业普遍认可并采纳的质量管理体系标准，标志着科友半导体获得了向新能源汽车领域供应芯片衬底的“通行证”。
　　张胜涛介绍，未来我国新能源汽车芯片衬底市场规模以百亿元计，但高品质产品基本依赖进口，价格高并面临“卡脖子”问题。科友半导体进军新能源汽车市场，不仅标志该企业在芯片衬底市场将分食更大蛋糕，更将为我国新能源汽车市场降低生产成本、加快新能源汽车推广带来革命性变化。
　　在省、市及哈尔滨新区的大力支持下，科友半导体公司2018年5月落户哈尔滨新区。六年磨一剑，小树将参天。企业已成长为一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化的国家级高新技术企业，研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域，形成自主知识产权、实现先进技术自主可控。
　　“我们在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区，实现碳化硅材料端从原材料提纯—装备制造—晶体生长—衬底加工—外延晶圆的材料端全产业链闭合，致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。”对于企业未来发展，张胜涛信心十足。